瞬態(tài)光電流光電壓測試儀利用TPV 和TPC 檢測的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析,可以得到器件內(nèi)部載流子的傳輸、積累、復(fù)合等動(dòng)力學(xué)過程的相關(guān)信息。TPV 和TPC 的測試是直接基于最終的工況器件進(jìn)行的,因而得到的參數(shù)可以直接反映工況條件下的光物理過程,這是一個(gè)相對于其它檢測手段的很大的優(yōu)勢。 瞬態(tài)光電流光電壓測試儀特點(diǎn):
測試過程由軟件控制,UI界面友好,易操作性強(qiáng);
軟件自帶擬合功能,方便對數(shù)據(jù)進(jìn)行靈活分析;
集成樣品倉,方便更換樣品和電學(xué)互聯(lián);
樣品臺(tái)帶位移功能;
樣品裝置可實(shí)現(xiàn)惰性氣體氛圍測試;
器件不封裝的情況下,可從手套箱轉(zhuǎn)移測試;
像素(子器件)的測試切換由軟件進(jìn)行,方便對同一基片上的不同子器件進(jìn)行測試;
可通過攝像頭方便看到測試光照射器件情況,調(diào)整樣品的光斑照射位置;
所有光路均置于封閉暗箱內(nèi),無外界光源影響;
光路進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)置,一般不需要額外調(diào)整光路;
可靈活耦合不同類型激光器進(jìn)行測試;
集成光闌,可調(diào)節(jié)激發(fā)光斑;
可集成偏置光,方便進(jìn)行光偏壓測量;
可集成其他定制功能。